一种微机电非线性耦合系统奇点稳定性研究 Stability of Equilibrium Points of a Micro-Electromechanica

排行榜 收藏 打印 发给朋友 举报 来源: 《应用力学学报》 发布者:cjk3d
热度10票 浏览13次 【共0条评论】【我要评论 时间:2003年12月23日 14:08
一种微机电非线性耦合系统奇点稳定性研究

Stability of Equilibrium Points of a Micro-Electromechanical Nonlinear Coupling System

工程中许多微机电系统都采用电容驱动原理,这类结构实际上存在着强烈的静电和机械两个物理场的非线性耦合,因此系统的动态特性比较复杂.本文基于一种扭转微镜系统,通过数值分析方法,研究其非线性动态特性,根据理论分析和数值计算证明该系统在相平面中存在两个奇点,一个是稳定中心,一个是鞍点,且两个奇点位置均随施加电压的变化而逐渐靠近,从而得出系统的静态分叉点;同时分析了有阻尼和无阻尼时电压的变化对相轨道的影响,以及阻尼对吸合电压的影响,吸合电压随阻尼的增大而提高,这些研究结果不仅对扭转微镜的设计和应用提供了理论和方法,而且对用电容驱动的微机电系统的设计亦有参考价值.水利论文i+F$I+Zgo-l1A

作 者: 陈玲莉 赵建平 陈花玲  
作者单位:西安交通大学,西安,710049 
刊 名:应用力学学报  ISTIC PKU
英文刊名:CHINESE JOURNAL OF APPLIED MECHANICS 
年,卷(期):2003 20(4) 
分类号:O322 
关键词:机电非线性耦合   吸合电压   奇点稳定性   鞍结分叉  
机标关键词:微机电系统非线性动态特性耦合系统奇点稳定性研究Coupling System理论分析和数值计算有阻尼吸合电压扭转微镜数值分析方法非线性耦合稳定中心特性比较施加电压设计驱动原理电容相平面相轨道 
基金项目:国家自然科学基金 
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