双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列的设计与制作 Bimaterial Micro-Cantilever Uncooled Infrared Imag

排行榜 收藏 打印 发给朋友 举报 来源: 《实验力学》 发布者:cjk3d
热度5票 浏览14次 【共0条评论】【我要评论 时间:2005年12月13日 14:08
双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列的设计与制作

Bimaterial Micro-Cantilever Uncooled Infrared Imaging System-- Design and Fabrication of Micro-Cantilever Array

本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140 × 98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.水利论文8l8S2xK \Ck

作 者: 董凤良 潘亮 张青川 伍小平 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖 DONG Feng-liang PAN Liang ZHANG Qing-chuan WU Xiao-ping CHEN Da-peng WANG Wei-bing GUO Zhe-ying  
作者单位:董凤良,潘亮,张青川,伍小平,郭哲颖,DONG Feng-liang,PAN Liang,ZHANG Qing-chuan,WU Xiao-ping,GUO Zhe-ying(中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230037)水利论文f"wN.f w K'm\ el;FP
陈大鹏,王玮冰,CHEN Da-peng,WANG Wei-bing(中科院微电子研究所,北京,100029) 
刊 名:实验力学  ISTIC PKU
英文刊名:JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS 
年,卷(期):2005 20(z1) 
分类号:TB33 O31 
关键词:非制冷红外成像   光学读出   双材料微悬臂梁阵列  
机标关键词:双材料微悬臂梁阵列非制冷红外成像技术设计和制作Design and Fabrication红外探测器等效温度差单层膜结构制作工艺预测结果实验设计制作机械模型光学读出高信噪比噪声物体器件空气 
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金 
下一篇:关于数字图像相关中曲面拟合法的几点讨论 Sub-pixel Registration Using Quadratic Surface Fitting in D
上一篇:大理岩动态劈裂拉伸断裂的实验研究 Experimental Study for Dynamic Split Tension Fracture of Marbl
查看全部回复【已有0位网友发表了看法】

广告投放

广告投放