基于MEMS的光力学红外成像 MEMS Based Optomechanical Infrared Imaging

排行榜 收藏 打印 发给朋友 举报 来源: 《实验力学》 发布者:cjk3d
热度7票 浏览12次 【共0条评论】【我要评论 时间:2004年12月20日 14:08
基于MEMS的光力学红外成像

MEMS Based Optomechanical Infrared Imaging

非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注.近期,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备.本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪.此红外探测仪的核心器件焦平面阵列(FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成.每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形.它不需要读出电路、真空腔和制冷装置,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统,而制作成本和难度将大幅降低.制作的无硅基底单层膜结构的FPA,其单元尺寸为200μm×100μm,阵列大小为150×100像素数.实验制作的系统探测到温度为500K左右的热物体像,热像采样频率为12幅/秒.

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作 者: 潘亮 张青川 伍小平 段志辉 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖  
作者单位:潘亮,张青川,伍小平,段志辉,郭哲颖(中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230037)
C7BF_'Izm0陈大鹏,王玮冰(中科院微电子研究所,北京,100029) 
刊 名:实验力学  ISTIC PKU
英文刊名:JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS 
年,卷(期):2004 19(4) 
分类号:TB535.1 
关键词:红外探测器   光学读出   红外成像   双材料微悬臂梁   焦平面阵列  
机标关键词:光力学红外成像仪红外探测仪微悬臂梁阵列制作红外成像系统红外成像设备硅基底非制冷焦平面阵列红外热辐射等效温度差单层膜结构制冷装置基底结构光学系统光学读出高可靠性读出电路单元尺寸 
基金项目:国家自然科学基金 
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